一、半导体行业中都有哪些设备?
制造芯片的过程十分复杂,主要有沉积、光刻胶涂覆、光刻、刻蚀、离子注入和封装等步骤。最开始的硅片制造到最后的封装测试,主要有单晶炉、光刻机、CVD设备、离子注入机、测试机、分选机和探针台入机等设备。在半导体设备中,机械零部件起构建框架、基础结构、晶原反应环境和实现零部件特殊功能的作用,因此对于零部件有着较高要求。
二、半导体单晶硅片制造设备介绍
三、半导体设备零部件要求:
·焊接区域零气孔、零裂纹、零瑕疵,密封性能强
·有更高的防尘要求,需要减少金属间的摩擦
·高精密、高洁净、耐腐蚀等特殊要求
·缓冲性能强,稳定性好
针对半导体设备要求,我司开发了大量适用于半导体机械设备中的氮气弹簧及配件,高品质、安全、美观,协助半导体行业打造安全放心的生产环境。
四、半导体设备常用气弹簧分类:
·带衬套氮气弹簧(FHJ16):
特点:两端接头配POM衬套耐磨低尘,减少金属间摩擦,防止产生金属粉尘;
应用场景:无尘车间、设备上的门框进行平稳的辅助支撑。
·自锁式氮气弹簧(FHL32):
特点:在行程杆上增加保护套,在伸展状态自动锁定,防止下降。弹簧弹力失效情况仍能保持支撑,保证安全。
应用场景:长期支撑状态,重载机构,避免突然砸落,自锁机构,避免安全事故发生。
·阻尼型氮气弹簧(FHL36):气弹簧压缩至剩余30mm段时为阻尼段,有明显减速效果,有效减轻框体撞击导致零件损坏。
应用场景:阻尼型氮气弹簧可应用在门框闭合末端有静音、防撞击要求的设备上。
·拉伸型氮气弹簧(FHL35):
特点:提供压缩弹簧相反的力作用,力量指向活塞杆,运动方向相反方向的力。
应用场景:下翻门缓冲辅助,结构下行提供缓冲,平行机构上部提供拉力;
五、半导体设备场景应用案例介绍
·固晶机、甲醇真空炉、共晶机、贴标机、甲醇真空炉、视觉检测等应用场景:
氮气弹簧实现箱体方门的固定支撑,氮气弹簧支撑力大,力量稳定,方便收缩是现阶段设备方门打开的常用功能元件;